等離子清洗機在生物醫用材料中的應用

時間：2022-04-01

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條說明
滾筒等離子表面處理機
滾筒等離子表面處理機適合粉末、顆粒狀產品；石墨烯粉、碳粉、高分子粉狀材料；動態旋轉，處理均勻，無死角，確保產品在腔內無序多方位處理；等離子清洗機用于粉狀粉末，顆粒狀材料清洗、刻蝕、活化、接枝處理，增加表面張力，增強親水性能等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離
等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走等離子清
戈德爾等離子刻蝕機在PCB線路板行業去膠渣制程的應用
?等離子體又叫做電漿，是由有些電子被掠奪后的原子及原子被電離后發生的正負電子構成的離子化氣體狀物質，也有稱其為物質的第四相態。等離子體相態是因為原子中激化的電子和分子無序運動的狀況，所以具有適當高的能量。 (1)PCB多層板等離子刻蝕機-機理：在真空室內部的氣體分子里施加能量(如電能)，由加快電子的抵觸，使分子、原子的最外層電子被激化，并生成離子，或反響性高的自由基。如此發生之離子、
等離子清洗機對晶圓的預處理
等離子清洗機用于晶圓級封裝的預處理，去除表面礦物質，減少氧化層，增加銅表面粗糙度，plasma等離子清洗機能通過等離子產生的自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.等離子清洗機的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余有機物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統的濕式化學方法